개요
반도체 웨이퍼 클리닝 공정감시를 위한 AI 기반 차세대 비전 기술
주요기능
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웨이퍼 유무/위치/파손/색상/무빙 노즐위치 검사
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웨이퍼 무빙 노즐 토출 유무/물방울 맺힘/고정 노즐 토출 위치 및 유무 검사
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카세트내 웨이퍼 상태/ 챔버 수증기검사
특장점
